电子行业洁净室的特点
电子行业洁净室除了要具有高效的净化空气特点和功能外，还需考虑以下几点:
(1)气流分布要求很均匀 洁净空调室为维持室内高洁净度，必须去除室内所产生的微尘粒子，因此对气流组织有严格的要求。对于ISO3~IS06级(1~1000级) 的洁净室车间目前采用上顶棚送风、下地板回风的垂直单向流气流组织。对于ISO7~IS08级(10000 ~100000级)的洁净室常采用上顶棚送风、下侧回风口的非单向流气流组织。
      (2)恒温恒湿控制精度高由于电子产品的制造工艺对温、 湿度变化极为敏感，所以在洁净室工艺区域的空气参数须严格控制在极小的范围内。洁净空调系统目前普遍采用了控制灵活、性能可靠的直接数字控制( Direct Digital Control, DDC)系统，当室内空气参数达不到设计要求时，可通过DDC控制系统来自动调节各阀门开大或关小。这样就不至于使房间温、湿度波动太大，影响产品质量和成品率。
      (3)新风量大，换气次数高 在电子产品制造过程中需使用有毒的化学品，会产生有毒的废气，必须排出室外。为保持洁净室车间内正压和满足卫生条件，必须补充大量新风。为了保持高洁净度，洁净室应有较高的换气次数，同时室内的空气流速不能太大，一般在0.4m/s以下。
      (4)洁净室车间空调冷负荷大但湿负荷很小，热湿比值接近无限大电子行业的洁净室一般都置于建筑物的中部，虽然通过围护结构的得热量较小，但洁净室内工艺设备的发热量相当大，即全年需要排除室内余热量。如6in晶圆厂的单位面积耗电量约为1. 35kW/m2,而8in晶圆厂的单位面积耗电量则约达到了1. 9kW/m2。洁净室内一般无散湿源，工作人员也是密封在防尘服中。为了减少静电现象，空气不能太干燥，这就要求空调系统处理室内回风时不能是减湿过程。
5.8.2  FFU洁净空调系统
      图5-22所示是电子行业洁净室净化工程目前最常用的FFU洁净空调系统示意图。大循环量的回风的冷却由排数少、迎面风速低、水温为12~ 17C的换热盘管承担，回风从回风道到顶棚时经换热盘管除去湿热。由于该换热器的盘管温度高于回风的露点温度，换热器的表面没有液体水析出，故称其为干盘管(Dry Coil)。 室外新风经新风机组( Make-up Air Unit.MAU)、粗中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送人顶棚。模块化小型FFU安装在顶棚框架上，空气由FFU的风机加压后经过HEPA或ULPA过滤送入室内。
      FFU系统与其他方式相比有以下优点:
      (1)灵活性大，满布率高  对IC工厂而言洁净空调系统的灵活性是很重要的。如果车间内洁净度随工艺变化面需作区域性调整时，  可通过改变FFU风量或置换盲板来改变局部地区的洁净度。当密集布满时， 满布率可达85. 5%。
      (2) FFU上部顶棚为负压，可起负压密封作用  顶棚内呈负压，洁净室内空气压力大于顶棚内空间的压力。如果FFU与支架密封处有缝隙，负压使得未经高效过滤的空气不能进人室内，对保证洁净室的洁净度有利。  N  W
      (3) 风系统阻力小，出风口风速低  FFU的迎风面积较大，空气流动阻力在50Pa左右;回风道截面积大，回风道阻力小于15Pa;多孔地板及隔栅等的阻力较小。回风全部阻力(包括多孔地板、隔栅风道)、FFU阻力及末级过滤器的阻力，总和小于250Pa。FFU出口风速一般为0.38 ~0. 45m/s。
      (4)单位风量能耗低 采用FFU后不需要增设加 图5-23 FFU 洁净空调系统空气压风机，不需专设机房，同时避免了送风管路的阻力。处理过程当FFU采用DC/EC (电子整流)电动机时，电动机的效率可达75% ~ 80%，每台可根据过滤器压降进行调速控制以节约能耗。所以单位风量的能耗般比 大型离心风机的集中系统低。

      FFU洁净空调系统的空气处理过程如图5-23所示。室外新风W经新风机组净化、降温、减湿、再热处理后送入顶棚。为使洁净室的温湿度控制得更平稳，通常将处理后的新风调整到洁净室的要求状态N,由DDC实现净化工程新风的精确控制。由于新风机组采用了喷淋洁净水的喷淋段和再热段，所以L点应是新风机器露点，位于N点的垂直下方。经过安装在回风道上的FFU处理后的H状态回风在顶棚内与经过新风机组处理的新风混合，形成0状态的送风，再由FFU加压过滤送人洁净室内。送人室内的洁净空气吸收显热后变为室内状态N,一部分由工艺设备的排风装置排到室外，另一部分再经FFU处理后回用。整个空气处理过程如图5-24所示。